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靶材包裝在雙層真空塑料袋中, 我們建議用戶(hù)將靶材無(wú)論是金屬或陶瓷類(lèi)保存在真空包裝中,
尤其是帖合靶材更需要保存在真空條件下，以避免帖合層氧化影響貼合質(zhì)量。
對于金屬靶材的包裝，我們建議少需要包裝在潔凈的塑料袋中。
靶材保養技巧：
為避免在濺射過(guò)程中因為不潔凈的腔體導致短路和起弧，有必要階段性的除去濺射軌道中間及兩側堆積的濺射物，這也有助于用戶(hù)可以連續以大功率密度進(jìn)行濺射。
靶材清潔的目的是去除靶材表面可能存在的灰塵或污垢。金屬靶材可以通過(guò)四步清潔：
步：用在丙酮中浸泡過(guò)的無(wú)絨軟布清潔；
第二步：與步類(lèi)似用酒精清潔；
第三步：用去離子水清洗。
在用去離子水清洗過(guò)后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。
氧化物及陶瓷靶材的清洗建潔用“無(wú)絨布”進(jìn)行清潔。
第四步：在清除完有污垢的區域后，再用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材，以除去所有可能在濺射系統中會(huì )造成起弧的雜質(zhì)微粒。
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